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第47节

 

唯一值得庆幸的一点就是,接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙,不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染,只得关闭设备重新再来一次。

负责带着李筠学习的赵蔓,看着她那熟练的动作,满意地点点头。

终于送来的不是一个愣头青,什么都不懂的人,要知道他们团队现在的任务非常重,时间紧迫,根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

她看着李筠有模有样的动作说:“看你的样子也不是什么完全新手,你和于亮一起负责物镜的调试,不断找出最小比例的组合模式,有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙,你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

说完,她也不等两人回答,转身离开。

于亮也是个只想要做事的性子,直接站到观察位,冷冷地出声道:

“那么我先来,李筠你负责记录现在的物镜调配情况,以及晶圆显影比例。”

“没问题。”

李筠让开自己的位置,让于亮先行,泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力,等到于亮不行了,她迅速顶上就行,没必要争一时之快。

拿出他们放在一旁的记录册子,拿着笔记录下现在的情况。

和他们一样组合的人还有不少,每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的,只为找出最合适的搭配。

之前因为人手的问题,都是于亮自己一个人单独进行。

刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度,可很快他就看出了李筠不是一般人,在他还没有提醒的时候,就已经手速飞快,把自己想要说的数据记录在册。

这种完美搭档一起做事就是顺心,短短几个小时,就已经达成了他之前一天的工作量。

于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感,他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼,摇摇头,不甘心地往下走。

对着李筠说:“接下来你来观察,我记录。”

“可以。”

李筠将最后一笔记下,将册子和笔交到于亮手里,自己则是登上观察位,查看情况。

依据自己刚刚的观察,开始调整物镜内部的透镜位置。

于亮看到这一幕刚想提醒些什么,但很快就收回自己的手,他根据刚刚对李筠的观察,相信她不是无的放矢。

很快,当他看见新出来的数据之后,不由自主地瞪大双眼。

因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙,他们能够避免掩膜的污染,制作时间大大缩短。

但同时也带来了另外一个隐患,那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低,在晶圆上的成像会变得更加模糊。

于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话,眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。

不说提高,就这样的变化就足以让其他人侧目。

他有些惊讶地观察李筠的表情,在看到她还想要继续调整的时候,赶紧出声打断:

“等等!这样就很好了,你先别动。”

由于太着急,他的音量不算下,其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。

李筠转身看到的就是这样的画面,她有些疑惑地看着于亮说:“怎么了?”

“你现在这个角度刚刚好,先别动,我这里还要再记录一点东西。”

众人一起停手的动静不算小,赵蔓也很快注意到两人这边的异样,看着其他人停下手里的事情,路过的时候小声提醒道:

“你们先别停,我去看看情况。”

众人这才歇了看热闹的心思,继续将眼神放到自己眼前,但也有些好事的,还是阻挡不了自己的好奇心,频频侧头观察李筠那边的动静。

赵蔓到达时,看到的就是一人站在观察位不动,一人飞速记录的场面。

她的目光随即转移到李筠身上,疑惑地问:“你们这边是出了什么问题吗?”

李筠摇摇头,眼神看向一旁的于亮。

于亮没有回答两人的问题,继续在记录册上写写画画,好一会儿才停下自己的手,因为长时间高强度的使用,还情不自禁地甩甩自己的手腕。

而后勾起嘴角,眼神当中几乎是藏不住的喜色,看着一旁的赵蔓激动地说:

“我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数,赵师姐,你看。”

说着,就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。

第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技,把物镜的角度画得乱七八糟,她根本看不明白,果断移开视线,看向上面记录的数据。

当她看到成像比例的时候,眼睛瞬间睁大,眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。

忍不住夸赞出声道:“你们俩非常了不起,这个发现我要赶紧告诉教授,你们俩这边暂时别动,等会儿教授也要过来看。”

说罢,带着手里得到记录册通通离开。

其他耳朵尖的,也明白是两人这边有了新发现,赶紧放下自己手里的东西围过来看,叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。

等到赵蔓带着赵本民教授来的时候,看到的就是这样一副闹哄哄的场面。

她赶紧加大的音量喊道:“都让让!都让让!教授来了。”

话音刚落,人群若鸟兽散,迅速给赵蔓和赵教授让出一条路,此时的李筠也早已经离开了观察位,与于亮站在一起。

赵本民看着眼前的机器,侧头问了赵蔓一句,眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。

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